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不是计算AZO从0-12nm的总衰减，而是计算单纯AZO比例提高带来的衰减量，最后算上IMI的增益必须还得是正的，就是IMI增益0.25，AZO12nm衰减0.15不到，最后实际增益为0.1%
是啊，0到12nm效率衰减肯定小于50%到67%。考虑栅线细化的条件，也要考虑IMI叠层增效的条件，那综合看AZO从0到12nm效率衰减还是小于0.15%的吧？
总结一下便是：如果迈为数据没什么问题，那么IMI结构背面做12nmAZO降低的效率应该小于0.15%，即如果降低同样的效率，可以叠加更多的AZO，考虑到专利的实施例就单面提效0.11%了，那么乐观的话l量产方案双面提效0.25%，全部舍弃则可以叠加20nm左右AZO(0-15nm降低0.15%，后续加速衰减，15-20nm降低0.1%)
这个积分值依赖于f的形式，f又依赖于链式法则里的两个偏导数，第二个是反比，第一个比较复杂，如果假设成线性，那么直接用中值定理，IMI结构增加12nm后效率降低不高于0.15%的条件为f(ξ1)≤0.75f(ξ2)，这个对于反比函数明显可以做到，甚至条件再恶劣一点(即线宽低于20μm，从而系数比0.75小)也依然能做到
那么C=50%处的任意△C的衰减量为△C*(∂η/∂C)|c=50%大于△C*(∂η/∂C)|c=0%，从而IMI结构从0开始增加12nm，衰减量肯定小于从50%增加12nm，所以IMI结构是赚的，但这是对于IMI结构自身而言的，如果用迈为的方案去推断IMI结构，由于两个方案△d不同，还需要算迈为的△d的减少导致的∂η/∂C的绝对值的减少，这样又被平衡回来了，所以估算用线性估计差不太多
非线性，效率η对比例C的偏导数用链式法则写出来大概是(∂η/∂R并)(∂R并/∂C)这个变化肯定不是线性，见下图(我这个补充说错了，是并联不是串联，第一项还要考虑FF)