这个积分值依赖于f的形式，f又依赖于链式法则里的两个偏导数，第二个是反比，第一个比较复杂，如果假设成线性，那么直接用中值定理，IMI结构增加12nm后效率降低不高于0.15%的条件为f(ξ1)≤0.75f(ξ2)，这个对于反比函数明显可以做到，甚至条件再恶劣一点(即线宽低于20μm，从而系数比0.75小)也依然能做到