总结一下便是：如果迈为数据没什么问题，那么IMI结构背面做12nmAZO降低的效率应该小于0.15%，即如果降低同样的效率，可以叠加更多的AZO，考虑到专利的实施例就单面提效0.11%了，那么乐观的话l量产方案双面提效0.25%，全部舍弃则可以叠加20nm左右AZO(0-15nm降低0.15%，后续加速衰减，15-20nm降低0.1%)