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$东方日升(SZ300118)$ 之前对于叠层TCO分析存在一些错误,这里做点修正和补充(具体名词解释看我上一篇贴)
1、专利的具体实施例:
181层:45nm(991靶材) 182层:5nm(金属铝) 183层:5nm(9010靶材,SnO2占10%)
即,背面从75nm纯ITO(991)变成55nm的ITO/M/ITO结构,ITO厚度从75减到50,减少25,且尚未使用AZO叠层,只是对纯ITO的一点改良
2、这个结构的效果:
第一对比例:双面75+75nm纯ITO,对比结果,背面IMI结构提效0.1%,降本13%(25/150=16%,同时还有金属层的成本增加,所以降幅比16%低一点很合理)
第二对比例:无中间金属层,对比结果,提效0.06%,即可以理解为金属层和181/183各提供一半的电学性质的提升(参考上一篇的分析)
总结一下:背面IMI结构的价值在于,在目前金属化技术(暂不考虑mw拖了2年都搞不出来的钢网)完全无法给栅线优化设计的细栅设计部分(宽度降低,高宽比提高,来做到在增加线数同时降低宽度,即维持银耗不变下,细栅间距的降低对叠加AZO后的TCO导电性下降做补偿)提供任何工艺窗口的情况下,通过对ITO在不牺牲电学性质的前提下的结构改良,做到同时降本且增效。
(换言之,丝印技术下,细栅无法重新设计导致了,想要叠加AZO,则必须从TCO本身的材料、结构下手)
则接下来需要探讨的是从3.6分降低到1.5分的可行性,以及更大的空间
1、正面只导入IMI结构而不做AZO叠层的可行性,双面导入IMI可总计提效0.2%,降本30%
2、背面181层做20nm的AZO叠层(45→25+20)的可行性,即舍弃0.2的提效,再降约15%的ITO用量
3*、(较难)期待金属化技术的突破(钢网、喷墨、电镀),钢网若能做到20μm$$以下的线宽(迈为意思年底,而且目标15μm,再信你一次[抠鼻]),则直接可以推进细密副栅,背面AZO比例可超过一半(AZO比例的极限由钢网线宽决定,线宽下降的比例≈线数的最大提升比例≈副栅间距缩短的最大比例≈电阻率提升的最大比例≈AZO最大比例),比如1:2甚至1:3,若新型TCO材料直接镀技术未来突破则将绝杀(极致线宽和高宽比,超低步骤低金属化成本)
则在1、2的假设成立下,最后的效果是:正面IMI+背面I/M/AZO/ITO,合计降铟约45%,效率相比原结构不变或微降,靶材成本降至1.7-1.8分/w,在想大幅降低只能依赖金属化技术
以上内容不作为投资依据

全部讨论

2023-09-10 10:25

请问看好日升吗

2023-09-09 15:59

再补充:根据迈为纪要2307,钢板下,背面1:2相比1:1效率降低0.15%,也即粗略估计AZO从50%比例到66%的16%提升(对应75nm*16%=12nm)导致了0.15%的效率下降,那么总计提效0.2%的双面IMI结构的181层可以至少叠加的AZO约为12nm(具体肯定不是这么算的,因为两种结构的串联电路的各电阻权重发生变化,从而各自的效率对AZO比例的偏导数是不同的,不过粗略估计也差不多),因此总体降铟(50+12)/150=42%,当然这里是按照专利的实施例的数据来算的,而实施例只是满足专利所有要求的一个参考的解法,不会是最优解,那么降铟的潜力估计能高于42%

2023-09-09 11:08

漏了点内容,金属膜不一定用铝,文献中甚至还有用金做金属层的“人才”,而且厚度也还能增加,理论上这里还存在最优化设计,即“金属导电性(影响成本和导电)--膜层厚度(越厚削弱透光提高导电)---AZO比例(削弱导电)”的平衡

MW的PVD溅射单元优化说可以做到12mg/W铟耗就是3分/W,50%降铟6mg/W就是1.5分/W,不过同时要配合栅线优化。如果这个方案能不需要细化栅线,就能不降效减铟40%+,那就很炸了。有个问题请教下,为什么背面ITO叠层不是90:10靶材/Al/99:1靶材,与P型薄膜接触的不是要用功函数小的靶材?