山水风光2020-11-15 14:31在这等着呢?!国内还有哪家能做直线电机?性能如何?
架麦2020-11-15 14:27………………………
天,怎么一晚上大家都成了大专家了,归家的事情咱们老百姓就别掺合鸟
start-over2020-11-15 11:31最多只能做光刻机的某一个或几个部件,asml太复杂了,几乎是全科学技术的集成…
哈撮戳的2020-11-15 10:29研发我国光刻机运动控制系统的其实就是数控系统专家。
哈撮戳的2020-11-15 10:21长春光机所的国科精密应该是做光刻机物镜和其他精密光学产品的,生产设备都是各种超精密机床。光源、物镜、双工件台,三大核心技术数控占据其二。
哈撮戳的2020-11-15 10:14前中国工程院院长周济:《“数控一代”机械产品创新工程》的战略意义和技术路线中提到过数控技术在光刻机核心的精密工作台上的运用。