$万业企业(SH600641)$ 超高能离子注入机又被称作兆伏离子注入机，顾名思义就是单电荷离子能量达到1Mev以上，所谓的4.5Mev,7.5Mev,是三电荷离子能量。机型难点主要在射频直线加速器。超高能离子注入机主要用于CIS图形传感器光电二极管离子注入，三电荷能量基本得几兆伏以上，一些功率半导体器件工艺...