$万业企业(SH600641)$ 超高能离子注入机又被称作兆伏离子注入机，顾名思义就是单电荷离子能量达到1Mev以上，所谓的4.5Mev,7.5Mev,是三电荷离子能量。机型难点主要在射频直线加速器。超高能离子注入机主要用于CIS图形传感器光电二极管离子注入，三电荷能量基本得几兆伏以上，一些功率半导体器件工艺需要超高能离子注入机，碳化硅器件有些工艺也需要超高能离子注入，所以超高能离子注入机能搞定意味着碳化硅高温高能离子注入机也能搞定。下面截图是各类型离子注入用途及亚舍立碳化硅机型，超高能机型