ASML官网声明：2050i及2100i光刻机出口许可证已被部分撤销，对中国个别客户产生影响。1、7nm是当前唯一既能用DUV做，也能用EUV做的；理论上5nm也可以，但没人做过。2、DUV光刻机的几代型号如1980Di、2000i和2050i，都支撑SAQP（自对齐四重曝光）工艺下的7nm。即便2050i现在进不来，1980D...