SE工艺添加，效率提升0.4%以上。目前来看SE是Topcon提效最为有效也最具备量产可行性的工艺优化方案。PERC用SE采用的ns绿光，由于B扩散表面浓度低，结较深，且B在BSG中溶解度大于硅，需要更大的能量才能向硅片扩散，但ns绿光能量过大会造成硅片损伤，因此合适的光源方案选择对Topcon的SE较为重要
作者：宁缺股
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关于这个，有人能稍微详细解释一下吗？有点搞不太懂QAQ。硼扩磷扩结深问题，两者固溶度比较，激光能量（脉宽，频率等）的影响，为什么现在TOPCon量产工艺基本没有SE过程，有具体的理论文献可以参考吗？谢谢大家。