Fcy6ny

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SE工艺添加,效率提升0.4%以上。目前来看SE是Topcon提效最为有效也最具备量产可行性的工艺优化方案。PERC用SE采用的ns绿光,由于B扩散表面浓度低,结较深,且B在BSG中溶解度大于硅,需要更大的能量才能向硅片扩散,但ns绿光能量过大会造成硅片损伤,因此合适的光源方案选择对Topcon的SE较为重要