回复@致远0316: 谢谢分享。受教了。//@致远0316:回复@致远0316:$芯源微(SH688037)$ $万业企业(SH600641)$ 存储晶圆线现在对涂胶显影和清洗设备的效率相关要求有往450片/小时方向提升的趋势，对设备的稳定性要求越来越高，芯源微的涂胶显影机台稳定性基本能满足要求，但公平地说，和光刻机的联机经验相对东京电子还是有一些差距，带来的结果就是效率差一些，但已经是国内最好并且唯一，与东京电子差距最小, 芯源微也在持续改进中，国产替代是个过程，不会一步到位，产品都要经历不完美-可用-可堪大用这个过程！