$芯源微(SH688037)$ 莫名奇妙被删除了老帖，重新发一遍，以往很多晶圆厂抱怨国产涂胶显影设备的效率跟不上GJK的效率，导致出现GJK等待涂胶显影设备的局面，大大影响了生产效率，所以这种缺陷也导致了国内东京电子一家独大，但是自从22年芯源微推出国产唯一的浸没式涂胶显影设备FT-300，并成功量产规模出货晶圆厂后，此种问题被有效解决，浸没式track设备的诞生也让芯源微有了向先进工艺挺进的迭代能力，成为真正的国产唯一，该款机型采用独创的对称分布高产能架构，满配36Spin处理单元，搭载自主研发的双向同步取放机械手，可大幅提升整机的机械传送产能和传送精度，能够匹配全球主流光刻机联机生产，可在复杂工艺下实现350片以上产能。此外，机台还搭载了公司开发的精确温度调制（PTM）技术，使热盘烘烤温度均匀性达到业界领先水平；全新的Spin单元实时控制技术，可有效提升机台运动控制及流体控制精度、响应性及稳定性，持续为客户降低成本；通过仿真优化设计整机流场，确保内部微环境均匀稳定，提升整机的洁净度等级；全系列辅助功能单元，包含AOI、WEE系统等，可在线式检测晶圆工艺缺陷，减少不良品流出。该款机型通过选配可全面覆盖I-line、KrF、ArFdry、ArF浸没式等多种GKJ技术，也适用包括SOC、SOH、SOD等在内的其他旋涂类应用。
