有个问题，有没有人懂？或者来讨论一下？多重曝光的方案，增加光刻清洗次数，光刻胶材料和特种气体用量，那么是不是也就是增加了更多的废液废气污染物？半导体产业因为技术成功的增量，是不是也要带着相关环保设备的增量？毕竟集成电路产业的污染是很重的，各种重金属和稀有气体。...
你可能没搞明白我在说什么，我在讨论获利的方向。。。比如盛剑环境，今年集成电路行业订单暴增。那么我要思考为什么可以暴增。