【上证电子】晶圆载具:晶圆“保险箱”,高端产品国产替代进程启动污染控制是提升芯片生产良率的重要手段之一,而晶圆载具是污染控制的重要工具。晶圆载具用于硅片生产、晶圆制造以及工厂之间晶圆的储存、传送、运输以及防护,按尺寸可以分为12英寸和8英寸及以...