日本半导体设备对标国内标的：

一、设备

1、东电电子:ICP/CCP/反应离子刻蚀--中微，北方华创:

2、东电电子:涂胶显影--芯源微:

3、东电电子:CVD沉积设备--北方华创:

4、DNS/东电电子:湿法清洗设备--盛美，至纯，北方华创，百傲化学(收购苏州芯慧):

5、东电电子/KE:炉管，热处理--北方华创，屹唐，盛美:

6、KE:ALD/PLD--拓荆，微导，北方华创;

7、荏原机械/东电电子:CMP--华海清科:

8、佳能 anelva:PVD沉积设备-北方华创:

9、日立高科/lasertec:前道量检测CD SEM，电子末，光蛋缺陷--精测电子，中科飞测;

10、爱德万:后道封装检测设备--长川科技，华峰测控，精智达;

11、佳能 Tokki;真空蒸镀设备--汇成真空:

12、Disco:划片机--光力科技;

13、Nuflare/日新技研:化合物半导体薄膜沉积设备一-晶盛机电，北方华创，露笑科技

14、0ptima:量测--已经被赛腾股份收购:

15、芝浦:先进封装键合设备--芯源微;

16、Yamada:半寻体封装设备--文一科技，新益昌:

17、爱发科:离子注入机--万业企业:

二、零部件

17、爱发科/佳能 anelva:真空泵--汉钟精机;

18、荏原机械/佳能 anelva:半寻体精密零部件-室创精密;

19、尼康光学:光学器件-茂菜光学，福晶科技:

20、日本磁力:石英件--石英股份，菲利华;

21、信越化学:石英坩埃--欧晶股份;

22、Rorze/Yaskawa/Daifuku:半导体机械臂/AMHS搬运系统:富创精密(广川是Yaskawa的合资企业)，机器人:

三、半导体材料

23、日本凸版/DNP:掩膜板--清溢光电，路维光电:

24、大和日酸/东营/昭和电工/三菱化学:半导体特气--雅克，华特气体，金宏气体，凯美特气，正帆科技;25、信越化学/胜高:大硅片--沪硅，立昂微，晶合，中晶科技，有研硅，众合科技:

26、信越化学/JSR/东京应化/旭化成:光刻胶--影程新材，南大光电，新阳:27、东京应化NSR/关东化学/住友化学:半导体化学品--雅克，江化微，晶瑞股份，格林达，吴华科技，中巨芯;28、东曹/爱发科/日立金属/日矿金属:溅射靶材一-江丰电子，阿石创，有研新材，;

29、德山:多晶硅料--协鑫集成，大全能源，三孚股份:

30、旭硝子/昭和电工/Fujimi:CMP抛光液--安集科技;

31、Fuiibo/3M/东丽:CMP抛光垫-鼎龙股份:

31、味之素/日本磁力:AMB/ABF封装基板--博敏电子，华正新材;

$全志科技(SZ300458)$ $北方华创(SZ002371)$ $赛腾股份(SH603283)$