日本半导体设备对标国内标的:
一、设备
1、东电电子:ICP/CCP/反应离子刻蚀--中微,北方华创:
2、东电电子:涂胶显影--芯源微:
3、东电电子:CVD沉积设备--北方华创:
4、DNS/东电电子:湿法清洗设备--盛美,至纯,北方华创,百傲化学(收购苏州芯慧):
5、东电电子/KE:炉管,热处理--北方华创,屹唐,盛美:
6、KE:ALD/PLD--拓荆,微导,北方华创;
7、荏原机械/东电电子:CMP--华海清科:
9、日立高科/lasertec:前道量检测CD SEM,电子末,光蛋缺陷--精测电子,中科飞测;
10、爱德万:后道封装检测设备--长川科技,华峰测控,精智达;
12、Disco:划片机--光力科技;
13、Nuflare/日新技研:化合物半导体薄膜沉积设备一-晶盛机电,北方华创,露笑科技
14、0ptima:量测--已经被赛腾股份收购:
15、芝浦:先进封装键合设备--芯源微;
17、爱发科:离子注入机--万业企业:
二、零部件
18、荏原机械/佳能 anelva:半寻体精密零部件-室创精密;
21、信越化学:石英坩埃--欧晶股份;
22、Rorze/Yaskawa/Daifuku:半导体机械臂/AMHS搬运系统:富创精密(广川是Yaskawa的合资企业),机器人:
三、半导体材料
24、大和日酸/东营/昭和电工/三菱化学:半导体特气--雅克,华特气体,金宏气体,凯美特气,正帆科技;25、信越化学/胜高:大硅片--沪硅,立昂微,晶合,中晶科技,有研硅,众合科技:
26、信越化学/JSR/东京应化/旭化成:光刻胶--影程新材,南大光电,新阳:27、东京应化NSR/关东化学/住友化学:半导体化学品--雅克,江化微,晶瑞股份,格林达,吴华科技,中巨芯;28、东曹/爱发科/日立金属/日矿金属:溅射靶材一-江丰电子,阿石创,有研新材,;
29、德山:多晶硅料--协鑫集成,大全能源,三孚股份:
30、旭硝子/昭和电工/Fujimi:CMP抛光液--安集科技;
31、Fuiibo/3M/东丽:CMP抛光垫-鼎龙股份:
31、味之素/日本磁力:AMB/ABF封装基板--博敏电子,华正新材;