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2023-07-01 13:49
昨天开始询问光刻机的朋友特别多,今天就梳理了一下新规内容以及后续的一些思路。
1. 新规解读
昨天荷兰发布的光刻机部分出口管制内容主要涉及3个指标,同时满足的情况下,ASML需要申请许可才能出售,其中EUV的部分不用想,咱从来就没见过长啥样,DUV的部分,2000i及后续的浸没式产品需要...