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2023-03-29 21:37
先修正下许多人都有的一个大的误解:14nm和28nm的设备差别较大。
28nm和14nm最大的区别是在工艺而不是设备, 14nm用Finfet的结构国内已经可以有了上规模的技术,至少能用而且条件合适的话可以大面积扩产:
而对于设备环节而言,28nm的关键设备(光刻、薄膜沉积、刻蚀机)其实区别并不大,...