比亚迪参股嘉芯半导体
近日，长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司发生工商变更，新增股东比亚迪股份有限公司、深圳市创启开盈创业投资合伙企业（有限合伙）；公司注册资本从3.71亿元增加到4.12亿元，同时，公司的高管亦发生变更。
嘉芯半导体设备科技有限公司成立于2021年4月，经营范围包含：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；光伏设备及元器件制造等。
嘉芯半导体项目位于嘉善西塘，厂房面积14万平米，包含覆盖刻蚀机、薄膜沉积、快速热处理及褪火等多款集成电路核心前道设备等设备基地。自2022下半年开始，嘉芯半导体多次中标多款设备，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）以及钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、快速热处理（RTP）以及尾气处理设备等，累计订单突破4.6亿元。
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