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回复@10年109倍挑战: 拓荆不是只有沉积设备吗//@10年109倍挑战:[该内容已被作者删除]
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2024-03-04 18:50
武汉新芯公布HBM项目招标，拟新增设备17台套，拟实现月产出能力≥3000片（12英寸）
HBM核心工艺是TSV通孔刻蚀，也是整个设备成本的大头，这个国内也就北方华创和中微公司做的了。