日本半导体设备对标国内标的：一、设备1、东电电子:ICP/CCP/反应离子刻蚀--中微，北方华创:2、东电电子:涂胶显影--芯源微:3、东电电子:CVD沉积设备--北方华创:4、DNS/东电电子:湿法清洗设备--盛美，至纯，北方华创，百傲化学(收购苏州芯慧):5、东电电子/KE:炉管，热...