【定义】MEMS技术全称Micro-Electro-Mechanical System, 是一种应用了半导体制造技术基础上发展起来的微细加工技术，并以硅为主要材料，集传感器、电子电路等机械元件于一体的微型器件或系统。以其小型化、高性能化、低功耗、耐用性好等特点而著称。【应用】与传统的机械传感器相比，MEMS传感...