从设备空间上来说，光刻刻蚀沉积是最好的，其次是量测，然后是涂胶显影、CMP等，光刻就一家，刻蚀沉积A股主要就是这北方华创中微公司拓荆科技，而且这三家的技术节点已经处于14-7的阶段了，其中中微更进一步达到5。
量测虽然空间也不小但技术节点依然在28，还是有差距，一旦突破14那么空间就很大了，涂胶显影目前刚完成1980di适配，适配1980的话基本可以满足大部分制程的扩产，涂胶显影此前仅有10%渗透率，适配1980后那么国产替代的空间也会进一步打开，这是芯源微2024年看点之一。离子注入机国产化率也较低，但这部分市场也相对较小，目前主要是中科信凯世通，华海清科也在做。
CMP、清洗、测试国产化率均较高，华海清科在国内CMP上有30%以上市占率，盛美超50%，测试机国产化率也很高，但此前都是功率SOC等，存储测试机和探针台国产化率还比较低，这一块长川科技进展较快。
设备上游就是零部件，其实设备国产化背后也是零部件国产化，中微已经宣布24年完全零部件全部国产化，其实零部件的空间不亚于设备，国产化率低的主要集中在物镜类、GAS BOX、静电吸盘、射频电源、真空阀/流量计等，如果只是做其中某一类可能国内市场也不是很大，但目前零部件公司也有平台化趋势，那么市场空间也不容小觑，代表企业有富创精密、正帆科技、英杰电气、新莱应材、江丰电子等。