“改良西门子法多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上……”。提到多晶硅传统的生产技术-改良西门子法，大多数人的第一印象就是“改良西门子法生产多晶硅是最为成熟、应用最广泛、扩展速度最快的技术。”但多晶硅项目...