钟宝申说,非银研发7年,我们走了很多弯路。这个弯路,我怀疑就是线性思维的,用铜电镀和银包铜,这是非常正常的思维模式。大概一年半前,听说他们放弃了银包铜技术路线,至于铜电镀就不知道后来怎么样了。
- 电迁移:当施加电流时,电子与铜原子相互作用,可能导致铜原子在互连中迁移。这可能会引起互连的损坏和可靠性问题。
- 高温:在高温环境下,铜原子的扩散速率可能增加,从而导致它们在半导体中迁移。
- 工艺缺陷:例如在晶圆制造过程中,如果铜与硅晶圆之间没有有效覆盖阻挡层,在高温焊接过程中就可能会产生铜迁移。
为了防止铜原子在半导体上迁移,可以采取一些措施,如使用阻挡层、优化工艺条件、降低工作温度等。此外,对半导体器件进行可靠性测试和质量控制也非常重要,以确保它们在使用过程中不会出现铜迁移相关的问题。
钟宝申说,非银研发7年,我们走了很多弯路。这个弯路,我怀疑就是线性思维的,用铜电镀和银包铜,这是非常正常的思维模式。大概一年半前,听说他们放弃了银包铜技术路线,至于铜电镀就不知道后来怎么样了。
是的,所以我一直很关注少银、去银技术。
铝浆性能是没问题,但栅线太宽了,哪怕是辅栅也有100μ,主栅足足600μ。
相对而言溅射蒸镀可以把辅栅线做到20甚至15μ,而且性能更好,我更好看这个路线。