三大厂现在验证的还可以逻辑、DRAM 因为多重曝光等原因，ICP使用量提升了华创以ICP见长在刻蚀领域，总量上华创略多于中微中微是以CCP见长，ICP也在布局华创22年才开始做CCP薄膜这块，华创PVD+CVD，总量上也比拓荆的PECVD多另外，炉管热处理，华创是国内比较领...