作者：按时睡觉12

引用：

$万业企业(SH600641)$ 碳化硅衬底制备新工艺，降本显著，凯子注氢机有机会一展身手。
上海微系统利用离子注入方法，成功研发碳化硅衬底制作新工艺 。法国soitec公司早在几年前与应用材料合作研发利用离子注入制作碳化硅衬底工艺，目前与格罗方德和意法半导体已有商业化项目落地，表明了该工艺...