回复@九歌07: 1、ALD在HPBC电池和TOPCon电池中用于氧化铝镀膜(钝化)，还可以用于钙钛矿电池；
2、对于TOPCon工艺，LPCVD和PECVD-ploy主要负责隧穿氧化层和多晶硅poly层的制备，跟ALD功能基本没有重合(需要说明一下，wei导的PEALD是结合了PECVD+ALD镀膜功能于一体的设备，主要是TW有部分采用，大多数电池片企业还是采用ALD专用设备来制备氧化铝钝化层，专用ALD设备制备的氧化铝膜层质量最好)；$连城数控(BJ835368)$//@九歌07:回复@beiguoqishi:20GW选了ALD路线，是否近期扩产产线都放弃了LPCVD、PECVD路线？

qishi可否推测下行业龙头如此选择的原因？