source:连城数控
其中,在碳化硅方面,连城数控于2020年底开始对碳化硅晶体生长炉进行研发立项、2021年9月开始对碳化硅等超硬材料多线切割机研发立项。2023年上半年,连城数控取得了多项技术研发成果,如创新推出单晶炉设备“一键拉晶”系统、液相法碳化硅长晶炉顺利下线并取得客户数台订单、碳化硅立式感应合成炉科研成果通过专家团鉴定等。而随着“第三代半导体设备研发制造项目”的实施,连城数控将扩大碳化硅设备产能,提升企业在第三代半导体领域的综合竞争力。
业绩方面,连城数控在2023年业绩快报中指出,受益于全球光伏及半导体市场需求的持续稳定增长、行业技术创新及政策支持等综合因素的共同作用,光伏及半导体企业的市场需求仍保持积极增长。2023年,公司实现营业收入600,003.79万元,同比增长59.06%;归母净利润70,539.58万元,同比增长55.97%。
02
碳化硅设备企业“快马加鞭”
碳化硅风头正劲,设备企业迎风起跑。除了扩大产能外,碳化硅设备端也频繁发布8英寸技术产品。
source:拍信网
其中,在长晶炉方面,北方华创已开发了3种机型的8英寸SiC长晶设备;晶升股份8英寸SiC长晶设备已在客户处经过批量验证。
外延设备方面,北方华创可为6/8英寸SiC产线提供外延炉;晶盛机电在SEMICON China2024上海国际半导体展上发布了8英寸双片式碳化硅外延设备、8英寸碳化硅量测设备、12英寸全自动减薄抛光设备;纳设智能、中电48所等也已成功研发8英寸SiC外延炉。
另一方面,国产碳化硅设备也逐渐进入国际企业供应链体系。受设备认证周期较长、厂商更换成本高、稳定性风险等因素影响,国产碳化硅设备企业走向国际困难重重,但这一现状正在被打破,比如优晶科技便于2023年底获得一家国际半导体巨头的碳化硅长晶设备订单。
此外,2024年以来,多家碳化硅设备企业纷纷更新IPO动态。
其中,碳化硅外延设备厂商纳设智能、芯三代均已接受辅导;优晶科技、联讯仪器也正处于辅导阶段。其中,优晶科技业务中包含SiC长晶设备设计、研发、生产、服务和销售;联讯仪器则提供高端测试仪器和设备,产品的应用领域包含碳化硅。
而晶亦精微则在2月5日顺利过会。据悉,晶亦精微控股股东是中电科四十五所,实际控制人为中国电科集团。晶亦精微主营半导体设备的研发、生产、销售及技术服务。
03
结语
碳化硅从6英寸向8英寸进化的步伐正在加快,而8英寸也将是碳化硅设备大规模应用的重要战场。
从技术到产能再到订单,国产碳化硅设备企业持续发力,助力国内衬底厂商加速迭代,在全球市场上与国际企业竞争。
文:集邦化合物半导体 Winter