中银证券（601696）指出，国内集成电路工艺设备企业中，芯源微电子是定位于涂胶显影设备的唯一厂商。国内外涂胶显影设备被TEL垄断，国产化处于初期。芯源的涂胶显影设备已进入多条晶圆产线。根据对国产化率及国内晶圆厂建设进度的判断，预计... 网页链接