迈为股份新获得国际专利授权:“一种用于旋转靶材进行磁控溅射的溅射方法及溅射设备”

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证券之星消息,根据企查查数据显示迈为股份(300751)新获得一项国际专利授权,专利名为“一种用于旋转靶材进行磁控溅射的溅射方法及溅射设备”,专利申请号为PCT/CN2023/090285,授权日为2023年11月16日。 专利详情如下: 图片来源:世界知... 网页链接