格隆汇4月3日丨机器人(300024.SZ)在投资者互动平台表示，公司目前的半导体装备产业应用呈现规模化，产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入... 网页链接