6月21日，半导体材料设备ETF（159558）跌0.20%，成交额615.49万元。当日份额减少300.00万份，最新份额为4985.46万份。最新资产净值计算值为4997.43万元。 半导体材料设备ETF（159558）业绩比较... 网页链接