奥普光电:越高精度的控制,越是需要像禹衡的高精度光栅尺和编码器这样的高端位移传感器

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同花顺(300033)金融研究中心9月14日讯,有投资者向奥普光电(002338)提问, 请问老师,贵司是不知道贵司的高精度光栅尺和编码器产品后续能否用于光刻机或其分系统?还是确认精度达不到不能用于呢? 公司回答表示,越高精度的控制,... 网页链接