奥普光电:公司子公司禹衡光学光栅尺精度与海德汉对标,指标为±3μm/m等级,实际可达到±2μm/m以内

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同花顺(300033)金融研究中心8月30日讯,有投资者向奥普光电(002338)提问, 请问公司的光栅尺精度能达到多少,理论上能应用到芯片制造和封装的测量辅助系统吗? 公司回答表示,公司子公司禹衡光学光栅尺精度与海德汉对标,指标为±... 网页链接