至纯科技3月15日晚发布公告称，2021年公司新增订单总额为32.3亿元，同比增长64.8%，其中半导体设备新增订单11.2亿元，同比增长111.32%。公司同时披露，经初步核算，2022年1-2月实现营业收入2.2亿元，同比增长388.14%。截至目前，公司2022... 网页链接