同花顺(300033)金融研究中心6月30日讯,有投资者向深科技(000021)提问, 据报道,中电鹏程已研发出第三代半导体晶圆划片机,晶圆吸真空后产品的平面度小于5微米,预计年底开始量产。请问贵公司是否参股中电鹏程智能装备有限公司?... 网页链接