光学晶圆检测方案将仍系居先进制程市场主流。近年来晶圆代工业者为因应先进制程电晶体微缩的设计挑战，纷纷导入电子束晶圆缺陷检测(E-beam Inspection)设备，然而电子束设备于吞吐量的表现仍不理想，因而在先进制程市场中多用于研发端，制造端则仍... 网页链接