原标题：半导体设备新星，中国科磊冉冉升起 来源：国盛证券 国产替代趋势下，膜厚设备实现自主可控突破。公司全资子公司上海精测2018年搭建，2019年进入大客户，预计2020年形成业绩贡献。上海精测布局膜厚及O... 网页链接