凯美特气:准分子激光气体产品收到美国Coherent(相干)公司测试确认函

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凯美特气公告,控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司生产的用于ExciStar激光器的193nm激光混配气已在Coherent(相干)德国公司设备上经过了测试,并于2021年9月24日收到Coherent(相干)公司发来的针对以上激光混配气产品通过其测试... 网页链接