1、目前的细栅线宽42μm,攻克铜电镀的技术难点后,比如把线宽做到20μm,大概有0.5pct的提效。线宽做到10μm,还能有0.4-0.5pct的提效,也就是26.3-26.4pct。目前电镀铜的核心工艺为图形化,其中光刻正在验证中,迈...