两千年初踏错了干刻湿刻的选择之前，其实早于1997年，在美国政府一手干预下，尼康被EUV LLC排挤在外时，就已经注定了如今光刻机市场一家独大的结局。

前面提到，当年为了尝试突破193nm，英特尔更倾向于激进的EUV方案，于是早在1997年，就攒起了一个叫EUV LLC的联盟。

联盟中的名字个个如雷贯耳：除了英特尔和牵头的美国能源部以外，还有摩托罗拉、AMD、IBM，以及能源部下属三大国家实验室：劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。

这些实验室是美国科技发展的幕后英雄，之前的研究成果覆盖物理、化学、制造业、半导体产业的各种前沿方向，有核武器、超级计算机、国家点火装置，甚至还有二十多种新发现的化学元素。