【国林科技】臭氧发生器龙头(清洗、薄膜沉积)半导体设备重大进展,看翻倍市值空间(1)公司半导体臭氧设备可用于半导体清洗,助力产业链国产化。臭氧工艺被广泛应用于半导体各工艺环节的清洗。在光刻环节,VOS工艺(高浓度臭氧气体和气化水混合)可替代传统SPM(过...