$中科曙光(SH603019)$ 中国研制成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备中国新闻网 2018-11-29 17:02:54 中科院光电所超分辨光刻装备项目副总设计师杨勇（左）介绍研制成功的装备整机。 孙自法 摄中新网成都11月29日电 (记者 孙自法)由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科...