不是阿斯麦光刻机产的，也不是同步辐射，只剩下两种可能，上海微电子和纳米压印，然而，上海微电子能造5nm吗？能造的话那光源一定是突破了，犯不着搞同步辐射，何况，上海微电子路线和阿斯麦路线相同，美国人不可能会感到陌生。因此只剩下一种可能