$普达特科技(00650)$ 此次芯恺半导体便携ALD-SiN/SiCN 原子层氮化硅沉积设备参与了展会。普达特科技已基于显著的差异化技术优势打造了CUBE、OCTOPUS、PARALLELO三个系列的清洗设备，覆盖了6寸、8寸、12寸晶圆。而在此次的SEMICON CHINA国际半导体展中，这三大产品系列均有亮相。