一、芯片生产设备光刻机：张江高科持有上海微电子10.76%的股权，上海微电子能够生产光刻机；刻蚀机：中微公司刻蚀设备收入31亿，目前等离子体刻蚀设备可以用在5nm线上；北方华创布局涵盖刻蚀、沉积、清洗、热处理、检测等多环节，属于平台型企业；薄膜沉积设备：