一、设备:中芯国际灵魂中军 (1)光刻机:上海微电子(未上市,张江高科持股) (2)刻蚀机:中微公司、北方华创 (3)薄膜沉积设备:北方华创、拓荆科技 (4)原子层沉积设备:拓荆科技 (5)化学机械抛光设备:华海清科 (6)清洗设备:盛美上海、北方华创、芯源微...