$华中数控(SZ300161)$ 华中数控芯片光刻机唯一概念
2016年4月28日,清华大学成功研发光刻机核心设备双工件样机
光刻机是制造大规模集成电路的核心装备。为将设计图形制作到硅片上,并在2~3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管,光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核...
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