2023 年，阿斯麥 (ASML) 生產 5 類光刻機，分別是最先進的 EUV， DUV 級的 ArFi、 ArF dry 和 KrF，到最低端的 i-line。
由於 7 納米以下的晶片需求旺盛，台積電及三星等晶圓代工厰向 ASML 大量訂購 EUV 光刻機。所以，EUV 光刻機的銷量是增長最快的類別，從 2016 年的 1部，急增至 2023 年的 53 部。
DUV 類別當中，製程最高的 ArFi 光刻機，其銷量從 2016 年的 68 部，上升至2023 年的 125 部。
其餘 ArF dry 、 KrF 和 i-line 的銷量均有增長，不過由於它們是較低端的光刻機，重要性不及 EUV 和 ArFi 光刻機 。
銷售金額方面，EUV 光刻機的增長同樣最快，從 2016 年的 3.3 億歐元，急增至2023 年的 91.2 億歐元，8 年間增長近 27 倍。
ArFi 光刻機的銷售金額則從 2016 年的 35.4 億歐元，增至 2023 年的 90.2 億歐元，僅次於 EUV 光刻，唯 8 年間增長只有 1.5 倍。
ASML 的 2023 年總銷售金額為 219.4 億歐元，而最先進的 EUV 及 ArFi 光刻機兩者的銷售金額合共 181.4 億歐元，佔整體 83%。
平均銷售金額方面，EUV 光刻機的售價趨勢明顯上漲，從 2017 年每部 9,860 萬歐元，升至 2023 年的 1.72 億歐元，增長近 70%。
ArFi 光刻機的售價則從 2017 年每部 5,300 萬歐元，升至 2023 年的 7,210 萬歐元，增長近 40%。
由於 ArF dry 、 KrF 和 i-line 屬較低端的光刻機，所以售價較低，且漲幅不大。
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